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德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列
點擊次數(shù):213 更新時間:2025-01-15
 

標題德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列

 

主要型號:

RTP-100

RTP-100-EP

 

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹:

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列

我們專注于RTP/RTA(快速熱處理和快速熱退火)工藝設備領域,并提供不同設計的各種型號。我們的工程師努力確定客戶的特定需求并為您開發(fā)合適的產(chǎn)品。我們也很高興在我們公司進行測試?;蛘吣梢韵蛭覀儼l(fā)送帶有工藝規(guī)范的樣品,我們將在內(nèi)部進行這些測試。

烘箱由西門子PLC過程控制器控制。這樣可以存儲 50 個帶有溫度曲線和分段的程序。可根據(jù)要求提供水冷卻器、附加流量計、附加氣體管線、附加熱電偶等選件和附件。該設備適用于不同的應用和客戶。尺寸小,方便烤箱室的裝卸。

烤箱可以輕松放置在標準實驗室工作臺上。適用于直徑達 100 mm (4") 的晶圓或基板尺寸達 100 mm x 100 mm

 

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列優(yōu)勢特點

RTP-100,通過抽屜裝載

快速熱真空工藝爐,加熱速率高達 150 K/秒

溫度均勻性好

精確、受控的加熱速率和高冷卻速率

工藝變更時間短

舒適的燃氣控制

所需空間小

 

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列主要應用:

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列,我們的前置式多功能桌面設備適用于以下應用:適用于各種半導體工藝的工具,新半導體工藝的實施,原型研究。

 


 
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